超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产

【超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产】超纯应材10月20日在互动平台表示，公司5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产。